研磨盘是平面研磨机的核心部件之一，其材质和状态对平面度有着至关重要的影响。

目前市面上常见的研磨盘材质有铸铁、钢制、陶瓷和树脂等。

1、铸铁研磨盘成本相对较低，耐磨性也还不错，易于加工，适用于精度要求不高、加工余量较大的粗磨加工，但由于其硬度较低，在精磨过程中容易产生划痕，难以满足高精度平面度要求。

2、钢制研磨盘硬度高、耐磨性好，能达到较高的加工精度和表面光洁度，适用于精度要求较高的精磨加工，不过其成本较高，加工难度也较大。

3、陶瓷研磨盘硬度极高，耐磨性很好，化学稳定性强，可实现非常高的加工精度和表面光洁度，常用于高精度、高表面质量要求的超精密加工，但其成本高昂，脆性大，加工难度极大。

4、树脂研磨盘弹性好，可有效避免工件表面划伤，适合加工易碎材料；如光学玻璃、半导体材料等，但它的耐磨性较差，使用寿命短。

在选择研磨盘时，需要根据具体的研磨需求和工件材料来确定。若要将平面度控制在 ±0.002mm（φ200mm）范围内，对于大多数金属材料的精密研磨，钢制研磨盘是较为合适的选择；而对于陶瓷、石英等硬脆材料的超精密研磨，陶瓷研磨盘可能更为理想。