晶圆减薄机通过真空吸附与柔性夹持系统，在磨削过程中稳定承载碲锌镉晶圆，避免因应力集中导致的解理面开裂或边缘崩缺，确保加工过程的材料完整性。

设备采用闭环伺服进给控制，将单次切深、主轴转速与冷却液流量等参数写入工艺配方，按粗磨、精磨分段执行，逐步收敛余量。
在线测厚模块实时采集晶圆厚度数据并反馈至控制系统，达到设定值即自动终止进给，砂轮磨损量由系统自动补偿，维持连续批次的厚度一致性。

针对碲锌镉材料热导率低、易产生亚表面损伤的特性，晶圆减薄机在磨削区持续供给低温冷却液，有效带走磨削热量与碎屑，稳定加工区温度场，降低热应力引发的微裂纹风险。

该设备适用于碲锌镉晶圆的背面减薄与尺寸修整工序，是保障晶圆性能一致性的加工设备。