铌酸锂双面研磨机将晶片置于游星轮内，在上、下研磨盘之间做行星运动，两面在研磨介质带动下同步去除材料，加工轨迹覆盖整个表面，厚度修正与两面平行度调整在同一工序内完成。

铌酸锂双面研磨机以气动闭环加载研磨压力，单次压力、转速与加工时长分段写入配方，按粗磨、精磨逐级收敛余量。

运行中，铌酸锂双面研磨机通过在线测厚读取工件厚度并回传控制系统，达到设定值即停止进给。研磨盘消耗由系统自动补偿，连续批次的尺寸一致性由控制回路保持，人工不必反复测量。

针对铌酸锂易崩边特性，铌酸锂双面研磨机在磨削区连续供给冷却液，带走磨削热量与碎屑，稳定加工区温度与面形状态，降低边缘破损与亚表面损伤。

铌酸锂双面研磨机用于光通信调制器基板、声表面波晶片与电光器件毛坯的双面精密加工，是铌酸锂冷加工中控制厚度、平行度与表面质量的工序设备。